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首页 > 半导体专用工艺废气处理设备-LOCAL SCRUBBER > KylinPW1000详情
等离子水洗式 机台产品概观
型号:Kylin PW1000
适用制程
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适用于半导体制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF)和面板行业
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对全氟化碳(PFC)气体处理的效果卓越
全新系统设计
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等离子弧火焰超过3000℃,可以高效处理PFC气体
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低耗电量,等离子电源能耗可根据应用制程进行调节
Plasma反应腔
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耐腐蚀材料应用提高了部件的使用寿命
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反应腔采用水冷
可维护性、安全性增强
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PLC安全互锁系统
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烟感、门禁、漏液等互锁装置保证机台安全稳定运行
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部件模块化设备便于拆装维护
高利用效率
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高流量以及多进口设计,可以连接多个制程工艺
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较小的占地面积
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