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半导体专用温控设备

CHILLER

半导体专用温控设备(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备。研发人员在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

产品特点

半导体专用温控设备系列产品

控温精度良好：加载情况下控温精度可达士0.3C，可在-20℃~80℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性；

先进节能技术：采用先进的节能技术，利用变频器实现压缩机和水泵的节能减耗；

故 障自诊自修：设 备具有故障自诊断功能，可实现远程诊断及维修；

先 进密封技术：先进的密封技术，减少循环液的泄漏及挥发；

符合SEMI标准：符合SEMI标准，可根据客户需求定制产品；

低温制冷能力：具有-70℃~ -40℃低温制冷能力。