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半导体专用真空设备

Vacuum Dry Pump

产品特点

结构紧凑，节能低耗

宽温域，适配多工艺

整机高可靠性

高洁净真空环境   

规格齐全，灵活选型

产品系列

VCH产品系列 VCH Type Series 最大抽速:200-6000m³/h

VRM产品系列 VRM Type Series 最大抽速:600-1800m³/h

VRL 产品系列 VRL Type Series 最大抽速:120-1000m³/h