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型号：B-830TC

核心特点：· 三通道整合，达到空间的高效利用

                 · 优化系统传热设计，节省循环液使用量

                 · 深化性能开发，匹配先进刻蚀工艺需求

                 · 具有液位平衡功能

技术参数

型号：T-320

核心特点：· 满足切换控温需求，快速响应

                 · 具有自动purge功能

                 · 具有液位平衡功能 

                 · 两级闭环节能控制

技术参数