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晶圆传片设备

 SORTER

    晶圆传片设备（Sorter）主要由洁净大气机械手、晶圆载物台、晶圆对准器、视觉系统、控制系统、空气过滤器组成一个高洁净度的运行空间，工厂自动化系统调度天车将晶圆盒放在晶圆载物台上，晶圆载物台通过开盒装置将晶圆盒打开，并将晶圆盒与设备的洁净空间连通，晶圆载物台在开盒时会扫描晶圆的位置并和工厂自动化系统中的晶圆位置进行校验，校验无误后工厂自动化系统会发送任务到晶圆传片设备，晶圆传片设备会根据任务来对传片、缺口和圆心对准、读取ID、翻片、倒片等动作进行组合，任务结束后晶圆载物台会扫描晶圆位置并关闭晶圆盒，工厂自动化系统会调度天车将晶圆盒取走到下一流程。晶圆传片设备的应用可以使晶圆下线、传片、翻片、出厂过程实现全自动化运行，可以显著提升晶圆制造的效率和良率。

产品特点：

• 独立自主知识产权的直线型单臂机械手，具有高可靠性、高稳定性。

• 设备配有高效FFU，采用全封闭结构，可发挥超洁净性能，其洁净度达Class1。

• 可实现对晶圆缺口的检测并依据缺口位置对晶圆进行定位。

• 配备高精度CCD传感器及图像处理软件，可对晶圆ID刻号进行识别与读取；

• 可依据客户需求，非标定制。

产品图片：