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电加热水洗式 机台产品概观

型号：Kylin TW1000

适用制程

-适用于半导体制程（CVD/PVD/DIFF/ETCH）

全新系统设计

-采用先水洗再加热再水洗的三位一体处理系统设计，延长设备维护周期

电加热反应腔

-可调节的温度区间提高了控制废气处理温度的灵活性

-独立的加热棒设计提高热效率

可维护性、安全性增强

-PLC安全互锁系统

-烟感、门禁、漏液等互锁装置保证机台安全稳定运行

-部件模块化设备便于拆装维护

高利用效率

-高流量以及多进口设计，可以连接多个制程工艺

-较小的占地面积

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